机型：显微拉曼系统光谱仪

线下：场景实验室

显微拉曼系统光谱仪：标准机

线下：场景实验室

显微拉曼系统光谱仪：12''晶圆载台款

线上：场景生产线

线上显微拉曼系统光谱仪

系统规格：显微拉曼系统光谱仪

雷射激光

1.  拉曼/萤光：224、266、325、355、375、405、442、458、473、514、532、632.8、671、785、808、830、1064、1350、1650 nm  已累积
19段 波长
2.  光子上转换：980 nm
3.  功率控制：基础型 18阶段 减光镜 (0.01-100%)

光谱仪

1.  像差校正成像光谱仪：163、193、200、303、350、500、520、750、100 mm 焦距
2.  电动/手动狭缝控制：10um 至 2mm 或 更大客制化范围
3.  拉曼位移解析度：  < 0.1 cm-1 每像素 @ (632.8nm + 1800gr/mm 光栅 + 1000 mm 焦距)
4.  拉曼位移起始位置参考： < 80cm-1 @ 458nm；< 60cm-1 @ 633 nm：< 100 cm-1 @ 830 nm

影像系统

LED白光柯勒照明系统 搭配 500万 或 600万画素 CMOS 彩色相机

侦测器

高灵敏度 背照式 晶片冷却 CCD：2000 x 256 像素

自动载台

XY轴：最大行程 100 x 100 mm、最小问距：≥ 50 nm
  Z轴：解析最小间距 ≥ 10 nm

软体

1.  Solis & UniSCAN, system control and data quisition/processing
2.  Beam switching, Laser power control, Confocal Pinhole, Spectrograph control image and signal measurement mapping, and data analysis

升级选项
客制化暨自动化

1.  光源加强： PL、TRPL、SERS、TERS
2.  影像升级： AOI、NSOM、AFM
3.  电性测试： 探针台
4.  场景需求： 环境治具、温度治具、偏压治具