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当薄膜沉积于不同热膨胀系数(coefficients of thermal expansion, CTE)材料时,就会生成薄膜应力(Film stress)
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各层Layer与薄膜厚度量测使用Echoprobe™技术,藉由IR光可穿透物质的特性(金属层除外)。于各层材料的界面接收反射光谱,并利用折射率(Reflective index)计算待测层的厚度(Thickness),广泛适用于所有IR可穿透材料之厚度量测。
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