苏州市德风芯半导体有限公司

TSV/TGV 设备
TSV/TGV 是未来AI伺服器与硅光子技术不可或缺的主要工艺
TSV/TGV 设备
TGV 是未来AI伺服器与硅光子技术不可或缺的主要工艺



铜电镀制程成果_TSV



电镀制程成果

应用

铜柱

细线路

盲孔

结果

 

 

 

能力

5 > 深宽比 > 2 (生产线验证 / 不跳镀)

电镀速率: 10~15 ASD (依药水能力)

整板均匀性 < 10% (Patent Depended)

2 x 2 um / 8 x 8 um / 15 x 15 um

 

整板均匀性 < 10% (Patent Depended)

深宽比> 2 ; 最小 20x20 um

Dimple < 10um

整板均匀性 < 10% (Patent Depended)

相同硬体设计可以应用于不同制程

相同制程可以适用不同药水商,利于客户选择最低营运成本

应用

盲孔

通孔

通孔填

结果

 

 

 

能力

Dimple < 10um

 

整板均匀性 < 10% (Patent Depended)

 

AR > 16 ( AR 18/20 on going)

4 ASD w/ 80%    DC Only

AR > 3 

DC only

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